KUGENZURA BY'AGATEGANYO N'INDEGE MU CYUMWERU CYIZA

Kurengera ibidukikije byitabwaho cyane, cyane hamwe no kwiyongera kwikirere.Ubwubatsi bwibyumba bisukuye nimwe mubikorwa byo kurengera ibidukikije.Nigute wakoresha ubwubatsi bwicyumba gisukuye kugirango ukore akazi keza mukurengera ibidukikije?Reka tuvuge kubyerekeye kugenzura ibyumba bisukuye.

Kugenzura ubushyuhe nubushuhe mucyumba gisukuye

Ubushuhe n'ubushuhe bw'ahantu hasukuye bigenwa ahanini hashingiwe kubisabwa, ariko mugihe byujuje ibyangombwa bisabwa, ihumure ryabantu rigomba kwitabwaho.Hamwe nogutezimbere ibisabwa byogusukura ikirere, harikintu gikenewe cyane kubushyuhe nubushuhe mubikorwa.

Nka ihame rusange, kubera ubwiyongere bwuzuye bwo gutunganya, ibisabwa kugirango ihindagurika ryubushyuhe rigenda riba rito.Kurugero, muburyo bwa lithographie no kwerekana uburyo bunini bwumuzunguruko w’umuzunguruko, itandukaniro rya coefficente yo kwagura amashyuza hagati yikirahure na silicon wafers ikoreshwa nkibikoresho bya mask bigenda biba bito.

Wafer ya silicon ifite diameter ya 100 μ m itera kwaguka kumurongo wa 0,24 μ m mugihe ubushyuhe buzamutse kuri dogere 1.Kubwibyo, ubushyuhe buhoraho bwa ± 0.1 ℃ burakenewe, kandi nubushuhe buri hasi muri rusange kuko nyuma yo kubira ibyuya, ibicuruzwa bizaba byanduye, cyane cyane mumahugurwa ya semiconductor atinya sodium.Ubu bwoko bw'amahugurwa ntibugomba kurenga 25 ℃.

Ubushuhe bukabije butera ibibazo byinshi.Iyo ubuhehere bugereranije burenze 55%, ubukonje buzakorwa kurukuta rwamazi akonje.Niba bibaye mubikoresho bisobanutse neza, bishobora gutera impanuka zitandukanye.Iyo ubuhehere bugereranije ni 50%, biroroshye kubora.Byongeye kandi, iyo ubuhehere buri hejuru cyane, umukungugu wiziritse hejuru ya wafer wa silicon uzajya wandikwa muburyo bwa chimique hejuru ya molekile zamazi mumyuka, bigoye kuyikuramo.

Iyo hejuru ugereranije nubushuhe, niko bigoye gukuraho ibifatika.Nyamara, iyo ubuhehere bugereranije buri munsi ya 30%, ibice nabyo byoroha cyane hejuru yubutaka bitewe nigikorwa cyingufu za electrostatike, kandi umubare munini wibikoresho bya semiconductor bikunda gusenyuka.Ubushyuhe bwiza bwo gukora silicon wafer ni 35-45%.

Umuvuduko w'ikirerekugenzuramu cyumba gisukuye 

Ahantu henshi hasukuye, kugirango hirindwe umwanda uturuka hanze, birakenewe gukomeza umuvuduko wimbere (umuvuduko uhagaze) kuruta umuvuduko wo hanze (pression static).Kubungabunga itandukaniro ryumuvuduko bigomba kubahiriza amahame akurikira:

1. Umuvuduko ahantu hasukuye ugomba kuba hejuru kurenza iyo ahantu hatari hasukuye.

2. Umuvuduko uri mumwanya ufite isuku ihanitse ugomba kuba hejuru kurenza iyo mu bibanza byegeranye bifite isuku nke.

3. Imiryango iri hagati yibyumba isukuye igomba gukingurwa yerekeza mubyumba bifite isuku nyinshi.

Kubungabunga itandukaniro ryumuvuduko biterwa numubare wumwuka mwiza, ugomba kuba ushobora kwishyura indege yamenetse kuva icyuho kiri munsi yiri tandukaniro.Ubusobanuro bwumubiri rero butandukanye bwumuvuduko ni ukurwanya umwuka utemba (cyangwa infiltration) unyuze mubyuho bitandukanye mubyumba bisukuye.